半導體產(chǎn)業(yè)
雖然半導體在硅谷衰落，但“亞洲制造”的力量不容小覷，半導體在亞洲地區成為了重要產(chǎn)業(yè)。近年來(lái)中國半導體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，其銷(xiāo)售額甚至超越了全球和美國的平均水平，占據了全球半導體產(chǎn)業(yè)的三分之一。不過(guò)相比于高額的銷(xiāo)售量，大量進(jìn)口的半導體材料折射出了國內在半導體材料產(chǎn)業(yè)的弱勢。
半導體材料產(chǎn)業(yè)處于集成電路制造環(huán)節的上游，材料的質(zhì)量直接影響集成電路產(chǎn)品質(zhì)量。作為半導體產(chǎn)業(yè)中規模最大的產(chǎn)品，集成電路生產(chǎn)工藝極為精細和復雜，任何一步發(fā)生錯誤都會(huì )造成器件失效。因此，針對以精細著(zhù)稱(chēng)的半導體產(chǎn)品，質(zhì)量檢測離不開(kāi)更為精細化、智能化的儀器設備。為了更好地滿(mǎn)足半導體行業(yè)用戶(hù)對產(chǎn)品質(zhì)量檢測的需求，上海西努光學(xué)科技有限公司秉持著(zhù)“以光學(xué)為核心，為客戶(hù)提供解決方案”的經(jīng)驗思路，特此引進(jìn)并向用戶(hù)推出奧林巴斯新一代半導體MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡。
MX63系列工業(yè)檢測顯微鏡
憑借功能性、人性化、先進(jìn)成像技術(shù)以及模塊化四大特色，MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡能夠幫助用戶(hù)觀(guān)察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷，及時(shí)發(fā)現產(chǎn)品問(wèn)題所在并予以解決。
一、功能性：先進(jìn)的分析工具
1、MIX+Stream不再“霧里看花”
從最基本的功能性來(lái)說(shuō)，MX63系列絕對是一款先進(jìn)的分析工具，能夠滿(mǎn)足行業(yè)用戶(hù)對樣品進(jìn)行可靠的缺陷檢測。借助全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項，用戶(hù)在評估樣品和存檔檢測結果時(shí)將會(huì )有更多選擇。
以半導體產(chǎn)業(yè)最重要的根基——晶圓為例，傳統顯微鏡在觀(guān)察時(shí)會(huì )由于功能不足，明場(chǎng)條件下難以觀(guān)察到清晰的集成電路圖形，暗場(chǎng)又看不見(jiàn)晶圓的顏色。 為了保證質(zhì)量，檢測過(guò)程中還會(huì )檢查晶圓中殘留的光致抗蝕劑等污染物。傳統顯微鏡熒光條件下可以觀(guān)察到殘留物，但卻看不見(jiàn)樣品本身;暗場(chǎng)條件下看見(jiàn)了樣品，殘留物又看不清晰了。為了保證在明場(chǎng)與暗場(chǎng)、熒光或偏光各種條件下，都能得到想要的觀(guān)察圖像，MX63系列采用MIX觀(guān)察技術(shù)，幫助用戶(hù)不再“霧里看花”。
MIX觀(guān)察技術(shù)
通過(guò)顯微鏡觀(guān)察到之后又想生成圖像怎么辦?MX63系列先進(jìn)的圖像采集技術(shù)開(kāi)發(fā)出多種功能，幫助用戶(hù)輕松生成需求的圖像。譬如多圖拼接(MIA)功能，用戶(hù)只需移動(dòng)手動(dòng)載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接。再利用Stream軟件的圖案識別功能最終生成全景圖像，從而獲得更寬的視場(chǎng)。如果想獲得攝影作品那般的景深效果又該如何?Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI)功能就可以滿(mǎn)足。
此外，專(zhuān)業(yè)級報告對圖像的視覺(jué)品質(zhì)有要求。圖像上的眩光問(wèn)題想必困擾了不少用戶(hù)，M63系列的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)功能就可以調整亮度差異從而解決這一影響畫(huà)質(zhì)的問(wèn)題。體現出該系列顯微鏡與其他同類(lèi)產(chǎn)品相比，精益求精的高端之處。
2、Stream最大限度減輕用戶(hù)工作負擔
靠肉眼觀(guān)察無(wú)法確定產(chǎn)品質(zhì)量是否合格，用數據說(shuō)話(huà)才能真正保質(zhì)保量。Stream軟件同樣包括交互測量功能，可滿(mǎn)足電路板圖形之間距離等基本數據測量。為了縮短測量過(guò)程中大量重復性任務(wù)的處理時(shí)間，Stream還推出了材料解決方案，可為復雜圖像分析提供直觀(guān)的工作流界面，用戶(hù)只要點(diǎn)擊按鈕就能快速精準完成圖像分析任務(wù)。
測量技術(shù)
采集完圖像并得到了測量結果，就該寫(xiě)讓人頭痛的復雜報告了。對此，Stream軟件也能為用戶(hù)辦到。除了提供模板，簡(jiǎn)化編輯方式，軟件還可以自動(dòng)導出大小適中、便于郵件傳輸的MicrosoftWord或PowerPoint文件，真正讓用戶(hù)體驗到了“輕辦公”。此外，使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63是一套獨立系統，所以采集圖像和基本測量工作都可以在幾乎不占空間的條件下完成。如此一來(lái)，實(shí)驗室空間得到了充分利用，用戶(hù)的工作環(huán)境也變得更為舒適。
3、專(zhuān)為潔凈室工作而設計
實(shí)驗室內工作最害怕什么?樣品污染或者受損!這將導致前期為樣品準備的一切工作付諸流水。MX63系列在考慮到這一點(diǎn)的同時(shí)，加入了人體工學(xué)設計，保證用戶(hù)在長(cháng)時(shí)間使用中既能保證舒適，還能保證樣品不受污染。以下四大功能真正讓用戶(hù)的雙手遠離了樣品。
①選配晶圓自動(dòng)搬送機 — AL120系統*：“懶人”福音
這款搬運機與顯微鏡相結合使用，可以安全地將硅及復合半導體晶圓從晶圓匣運送到顯微鏡載物臺上。從此操作人員再也不必使用鑷子或者其他工具戰戰兢兢地運送樣品了。
MX63系統與AL120晶圓自動(dòng)搬送機結合使用(200毫米型號)
②防護結構殼+電動(dòng)物鏡轉換器：快速、清潔
顯微鏡所有電動(dòng)組件都被安裝在防護結構殼內，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理，實(shí)現了無(wú)污染的晶片檢測。而電動(dòng)物鏡轉換器不僅縮短了檢測間隔時(shí)間，還讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。
防靜電呼吸罩和電動(dòng)物鏡轉換器
③內置離合+傾斜觀(guān)察鏡筒：高效、舒適
只要利用內置離合和XY旋鈕，就可以實(shí)現對載物臺運動(dòng)的粗調和微調，樣品再大都能實(shí)現高效觀(guān)察。此外，傾斜觀(guān)察鏡筒的擴展范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。
載物臺手柄和傾斜觀(guān)察鏡筒
④系統配置：適合所有晶圓尺寸
該系統可配合各類(lèi)150–200毫米和200– 300毫米晶圓托架和玻璃臺板使用。如果生產(chǎn)線(xiàn)上的晶圓尺寸發(fā)生變化，可更改載物臺或鏡架。有了MX63系列，各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125毫米和150毫米晶圓。
晶圓托架和玻璃臺板
二、人性化：“有溫度”的人體工學(xué)設計
MX63系列不止是一套功能多樣的優(yōu)質(zhì)設備，還是一件有溫度的人性化產(chǎn)品。該系列的“貼心”之處充分體現在顯微鏡操作上。想必不少初學(xué)者在使用相機時(shí)會(huì )出現對焦不準、照片模糊、曝光不足等等問(wèn)題。相比于經(jīng)驗豐富者傾向于手動(dòng)調整焦距、光圈、速度，一般人比較喜歡選擇自動(dòng)功能。同樣使用光學(xué)原理制成的顯微鏡有沒(méi)有這種自動(dòng)功能呢?MX63告訴你，也可以輕松做到。針對裸晶片之類(lèi)低對比度樣品，MX63系列在光程中插入聚焦輔助，可以幫助用戶(hù)快速找到焦點(diǎn)。此外，相比于需要手動(dòng)調整光強度和孔徑的傳統顯微鏡，用戶(hù)使用MX63系列時(shí)，可以針對不同的倍率和觀(guān)察方法設定光強和孔徑條件。需要的時(shí)候能夠輕松調用這些預先設定的設置，既能節省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量，免去了用戶(hù)的使用煩惱。集中化顯微鏡操作、手動(dòng)開(kāi)關(guān)以及快照按鈕等其他人體工學(xué)設計，也大大提升了MX63的人性化水平。
多種人體工學(xué)設計
三、先進(jìn)成像技術(shù)：精細的光學(xué)性能與數碼成像
奧林巴斯以高質(zhì)量光學(xué)器件和先進(jìn)數碼成像技術(shù)的悠久歷史聞名。MX63系列同樣為質(zhì)量檢驗提供了精細的光學(xué)性能和數碼成像技術(shù)，充分體現了奧林巴斯的工藝水平。
隨機點(diǎn)樣本和強度分布
物鏡鏡頭的光學(xué)性能對于觀(guān)察圖像品質(zhì)和分析結論有著(zhù)直接影響。MX63的UIS2高倍率物鏡最大限度減小波陣面像差，從而幫助用戶(hù)獲取可靠的分析結果。高強度白色LED光源可保持始終如一的色溫，色彩再也不會(huì )因為光強的變化而變化，可靠的圖像質(zhì)量和色彩浮現得以實(shí)現。除了圖像生成和分析，后續的測量工作也可以借助Stream軟件的自動(dòng)校準功能提升可靠性。這款軟件還具備陰影校正功能，可解決圖像角落周邊陰影問(wèn)題。在配合強度閾值設置使用時(shí)，陰影校正可實(shí)現更加精確的分析。
四、模塊化：兼容性和靈活性兼備
用戶(hù)需求永遠存在差異，個(gè)性化的需求能夠用標準化的技術(shù)生產(chǎn)體系來(lái)滿(mǎn)足嗎?倒不如將生產(chǎn)體系調整為模塊化，生產(chǎn)出模塊化產(chǎn)品來(lái)緩解這種矛盾。MX63系列就是一款極具兼容性和靈活性的模塊化產(chǎn)品，讓用戶(hù)能夠選擇各種光學(xué)器件滿(mǎn)足其特定的檢測和應用需求。用戶(hù)還可以從一系列的Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿(mǎn)足其特定的圖像采集和分析需求。
在兼容性上，無(wú)論是MX63系統還是MX63L系統，都具有相同的較小占用空間，可兼容多種樣品規格。在物鏡選擇上，也兼容紅外觀(guān)察。5X到100X紅外物鏡可實(shí)現從可見(jiàn)光波長(cháng)到近紅外波長(cháng)的色差校正。
在靈活性上，用戶(hù)完全可以按自己的要求打造獨有的奧林巴斯系統。顯微鏡鏡架、鏡筒、目鏡、載物臺、光源、物鏡轉換器、滑塊、手動(dòng)控制器、相機適配器、濾光片、分光鏡組件、透射照明單元、中間鏡筒、UIS2物鏡……這些組件均具備多種規格供用戶(hù)挑選搭配。MX63系統在模塊化上可以說(shuō)做到了一種極致。
產(chǎn)品設計
集四大特色于一身的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡，以最先進(jìn)全面的技術(shù)和最實(shí)用舒適的設計，成為業(yè)內同類(lèi)產(chǎn)品之間的佼佼者。上海西努光學(xué)科技有限公司于近幾年獲得了奧林巴斯品質(zhì)管理資格認可，并開(kāi)始引進(jìn)奧林巴斯工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品。憑借十余年的行業(yè)經(jīng)驗和對用戶(hù)需求的精準分析，西努光學(xué)推出MX63系列，為用戶(hù)提供卓越的光學(xué)解決方案，助力電子制造業(yè)尤其是半導體產(chǎn)業(yè)在我國的升級改造。未來(lái)隨著(zhù)企業(yè)技術(shù)、資源和服務(wù)的提升，相信西努光學(xué)將繼續在國內光學(xué)產(chǎn)品供應商當中一路領(lǐng)跑，在獲得更多國內外儀器廠(chǎng)商認可的同時(shí)獲得用戶(hù)的信賴(lài)。
